超音波モータ

研究テーマ

多自由度超音波モータ

リッジモード超音波モータ

小型リニア型モータ

• たわみ振動棒を用いた進行波型超音波リニアモータ

超音波マイクロリニアモータの圧電基板上への製作

• 超音波マイクロリニアモータの圧電基板上への製作

多自由度超音波モータの小型化とアレイ化

• 多自由度超音波アクチュエータの小型化とアレイ化